抽气速率在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即sp=q/(p-p0)冷阱(水冷挡板)置于真空容器和泵之间,泉州空压机,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“p”表示。标准---压压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(atm)。---真空真空容器经充分抽气后,阿特拉斯空压机,稳定在某一真空度,此真空度称为---真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为---真空值。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长
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